Acquisition d'une enceinte à vide et d'ensembles mécaniques

Architecture et éléments mécaniques

• Chambre à vide complète avec caractéristiques dimensionnelles (volume interne, diamètre, hauteur) et tolérances mécaniques/thermiques adaptées aux grands substrats.
• Portes, brides et passages pour fluides, câbles et instrumentation, avec possibilité d'ajout de brides au toit.
• Châssis, alcôves et protections internes (capots/dômes, plots de fixation, barres latérales).
• Circuit de thermalisation : refroidissement par circuit caloduc/eau, exigences de température et gestion thermique des masses.

Porte-substrats et systèmes de transport

• Porte-substrats planétaire et rotation simple, motorisés et synchronisables ; capacité pour deux substrats jusqu'à 800 mm ou un substrat unique jusqu'à 1600 mm.
• Tolérances d'angle entre plan de dépôt et verticalité précisées ; materials compatibles vide (inox 304L/316L, aluminium, duraluminium 2017A).
• Rails de translation et guidage avec matériaux de glissement et joints compatibles vide (PEEK, céramiques, Viton/fluoroélastomères).

Sources, porte-cibles et refroidissement

• Porte-cibles refroidis par eau, cibles bi-face (dimensions indicatives 340 x 300 mm), dispositifs de fixation et transport, gestion thermique locale et dimensionnement des brides/supports.
• Coffre électronique RF (AM1000 et boîte d'accord) avec passages étanches pour câbles et circuits de refroidissement.

Load-lock et séquence de transfert

• Sas de chargement automatisé (load-lock) assurant transfert sans dégrader le vide principal : vide principal visé ~1e-7 mbar, pression de palier dans le load-lock ~1e-3 mbar.
• Séquences automatiques de pompage et transfert, étanchéité et sécurité des portails.

Masques, écrans et ajustement optique

• Systèmes motorisés de masques et écrans, dispositif d'alignement et tolérances sur écartement/parallélisme.
• Emports et prédispositions pour instrumentation de contrôle optique (codeurs absolus, alignements fins).

Motorisation, capteurs et contrôle

• Motorisations indépendantes pour planètes et axes, codeurs absolus ≥ 10 000 positions, contrôle précis des vitesses et positions.
• Interface de communication et intégration avec système de contrôle/commande existant (NOVA ou équivalent).
• Fourniture des programmes sources de pilotage et des parcours automatisés pour portes-cibles, chariots, écrans et sequences de load-lock.

Documentation, qualification et formation

• Étude mécanique et mécatronique préalable (dimensionnement, calculs de structure, plans, simulations d'alignement).
• Tests d'acceptation usine, procédures de vérification, dossier de réception avec critères de validation et traçabilité des essais.
• Livraisons de documentation technique en français et/ou anglais, formation des opérateurs sur site, assistance au commissioning et SAV.

Décomposition en phases et livrables

• Prestation organisée en 10 phases : Phase 1 : étude détaillée (plans, calculs, planning) ; Phases 2–9 : fabrication, essais usine, livraison, installation et commissioning ; Phase 10 : mise en service, validation et tests finaux.
• Remise de livrables à chaque phase (plans, rapports d'essais, logiciels de pilotage, procédures d'exploitation, formation).