Fourniture et mise en service d’un four horizontal double tube pour Smart‑Cut sur plaquettes 300 mm, incluant installation, essais et qualification.

• Traitements thermiques couvrant wet/dry oxidation, anneal jusqu’à ~1300 °C, splitting anneal avec détection de fracture et contrôle d’uniformité 200–400 °C.
• Intégration des systèmes de manipulation compatibles FOUPs, gestion des gaz process (N2, Ar, O2, H2, HCl, NO, premix), et mini‑environnement conforme exigences salle blanche.
• Interfaces SECS/GEM (standards SEMI), FAT/SAT, documentation, formation et options de maintenance (contrats et pièces de rechange).

Création d'au moins un ascenseur accessible et remplacement complet d'ascenseurs existants (cabine, façades palières, machinerie, guidages).

Types concernés : ascenseurs 630 kg (une ou deux faces de service), ascenseurs mini (≈300 kg) avec cabines métalliques antivandales et portes automatiques inox.

Prestation intégrant maçonnerie de gaine et fosse, façades palières inox, dépose et évacuation, remise en état des accès, essais, réception et remise du DOE.

Travaux phasés en bâtiment partiellement occupé, coordination des corps d'état, gestion des déchets et contrôles qualité/essais obligatoires.

• Plateforme ICP de gravure profonde 200 mm avec source RF, générateurs de biais et endpoint OES (vias reveal).
• Prise en charge wafers 200 mm, épaisseurs 300 µm–1,5 mm, bonded/fragiles, et carriers verre (Borofloat/Eagle); chucks et protections bords incluses.
• Réseaux gaz/chemicals en E316L, débitmètres numériques, enregistrement des consommations et export SECS/GEM.
• Mini-environnement surpression >1 Pa, contrôles ESD, objectifs particulaires (ex. 35 partic./m3 statique >0,1 µm) et contrôle thermique chambre -20 °C à +100 °C.

Système hybride WLI + AFM avec pilotage unifié, conçu pour mesures automatisées sur wafers 300 mm. Comprend deux objectifs WLI (FOV ≥ 2000×1500 µm et ≥ 200×150 µm), module AFM pour nanotopographie et chambre à double accès (chargement auto et manuel). Livré avec plans d'implantation, formation utilisateur, garantie et options de maintenance (incl. Full Service) ; manuels et certificats de conformité fournis.

Conception et fabrication d'un cryostat de qualification des cibles cryogéniques et de sa table optique.

• Vérification et finalisation des études de conception.
• Fabrication et assemblage de l'équipement, incluant des essais de réception et des essais sur site.
• Fourniture de plans d'ensemble, de détails, et d'une liste des opérations de fabrication et de contrôle, validés par le CEA.
• Comprend des enceintes à vide, une chaîne froide, et un système d'écrans thermiques.

• Fourniture d'un instrument Raman in-line unique, automatisé et compatible 300 FOUP et 200 mm (open cassette).
• Mesures sur 355 nm, 405 nm et 532 nm ; objectifs dont 50X, NA ≥ 0,7 ; positionnement XYZ et reconnaissance de motifs 20 × 20 µm².
• Mise en service avec essais et rapports, formation, documentation en français, liste pièces détachées et offre de maintenance (full service) ; maintenance post-garantie 10 ans minimum.
• Variantes autorisées avec dossier séparé ; une variante environnementale possible (pièces recyclées/reconditionnées) avec justification technique.