Plasma Cleaner pour nettoyer les échantillons MET et les chambres MEB

Le marché porte sur un appareil de nettoyage d’échantillons de microscopie électronique par plasma (plasma cleaner). Les prestations techniques demandées incluent :

1. Contexte général et objectifs de l’acquisition
   L'appareil doit nettoyer les échantillons MET les plus sensibles et être compatible avec les chambres MEB. Il doit proposer un mode downstream et intégrer une source amovible.

2. Caractéristiques et exigences techniques

   • Source plasma downstream
     • Recettes de nettoyage et gaz utilisés : Au moins une recette de nettoyage préconisée doit être accessible à la réception. La possibilité d'utiliser différents gaz (air, azote, argon, mélange) est valorisée.
     • Puissance et réglage de la source radiofréquence : Doit être contrôlable et atteindre au minimum 10W.
   • Chambre sous vide et système de pompage
     • Compatible pour le nettoyage d’échantillons massifs MEB avec un système de pompage intégré.
     • Doit permettre l’insertion d’au moins un porte échantillon MET, avec valorisation pour 2 ou 3 portes.
     • Temps de pompage : Préférablement inférieur à 5 minutes pour un porte-échantillon MET.
   • Source amovible
     • Installation facile sur un MEB pour nettoyage.
     • Transfert rapide entre la chambre dédiée et le MEB, réalisable par une personne seule.
     • Intégration sur des MEB existants et futurs, notamment le MEB ZEISS GeminiSEM 550.
   • Ergonomie, maintenance, SAV et développement durable
     • Interface utilisateur compréhensible et documentation claire.
     • Procédure de maintenance simple au quotidien.
     • Description du SAV et possibilité de réparations partielles.
     • Fiche du cycle de vie de l’appareil valorisée, avec documents livrables en format dématérialisé.

3. Prestations supplémentaires éventuelles (PSE)
   Aucune prestation supplémentaire n’est autorisée.