Plasma Cleaner pour échantillons MET et chambres MEB

Le marché porte sur un appareil de nettoyage d’échantillons de microscopie électronique par plasma (plasma cleaner). Les prestations techniques demandées incluent :

1. Source plasma downstream

   • Évaluation des performances de la source plasma avec au moins une recette de nettoyage préconisée pour un nettoyage standard des échantillons MET et MEB.
   • Possibilité d'utiliser différents gaz (air, azote, argon, mélange) pour diverses applications, avec un système de pilotage des gaz décrit.
   • Puissance de la source radiofréquence contrôlable, atteignant au minimum 10W.

2. Chambre sous vide et système de pompage

   • Système de nettoyage compatible pour échantillons massifs MEB avec un système de pompage intégré.
   • Capacité d'insertion d'au moins un porte échantillon MET, avec valorisation pour 2 ou 3 portes-échantillons.
   • Temps de pompage inférieur à 5 minutes pour un porte-échantillon MET.

3. Source amovible

   • Installation facile sur un MEB pour nettoyage, avec transfert rapide entre la chambre dédiée et le MEB, réalisable par une seule personne.
   • Intégration sur des MEB existants et futurs, notamment le MEB ZEISS GeminiSEM 550.

4. Ergonomie, maintenance, SAV et développement durable

   • Interface utilisateur compréhensible et documentation claire en anglais et/ou en français.
   • Procédures de maintenance simples et possibilité de réparation sans changer toute la machine.
   • Engagement en faveur du développement durable avec une fiche du cycle de vie de l’appareil fournie, de préférence au format dématérialisé.

5. Prestations supplémentaires éventuelles (PSE)

   • Aucune prestation supplémentaire n’est autorisée.