Fourniture d'un meuble de distribution de slurries

Architecture générale

Meuble monobloc composé de deux zones fonctionnelles séparées mais intégrées : Zone Pompage / Préparation et Zone Filtration / Régulation.
Sept lignes slurry distribuées depuis le meuble vers une interface process (entrée Opta1). Certaines entrées supplémentaires prévues mais non alimentées.

Zone Pompage / Préparation

Mise en mouvement et pressurisation des slurries sur 7 boucles locales.
Capacité interne prévue pour 8 bidons de 20 L et plenum de rétention ≥ 60 L.
Équipements : balances (0–1 kg et 0–30 kg), 2 étagères, planches perforées, agitateurs, douchette EDI avec recirculation paramétrable, cannes EDI.
Extraction des éléments par le bas possible ; accès par deux portes battantes transparentes (~100 cm chacune) ; vanne asservie à l’ouverture des portes.

Zone Filtration / Régulation

Filtration sur 3 des 7 boucles (filtres non fournis ; fourniture de 3 manchons 3/8" flare pour remplacement temporaire).
Régulation de pression sur les 7 départs vers l’interface process.
Capteur de fuite avec inhibition temporisée, bouton Stop Buzzer, vannes manuelles 1/4 de tour compatibles slurry.

Pompes, réseaux et connexions

Pompes auto-amorçantes, exploitation 24/7, préférence pour modèles pneumatiques de type Yamada NDP-15FPSNPT-1 ; alimentation pneumatique par vannes et manodétendeur par pompe.
Amortisseur de pulsations et caissonage des pompes pour limiter le bruit ≤ 70 dB.
Dimensionnement des réseaux pour maintenir une vitesse de circulation 1–2 m/s et limiter les pertes de charge.
Connectique dimensionnée : alimentations 3/8 in pour certaines liaisons, doubles enveloppes 1-1/4 in, schéma de connectique détaillé à respecter.

Caractéristiques des slurries et process

Granulométrie : de ~15–20 nm à fréquemment >1 µm.
Concentration silice < 30 % en solution aqueuse ; pH 2–12 ; densité 1,00–1,25 g/cm³ ; viscosité 1–2,5 mPa·s.
Préparations incluant dosage de H2O2 30 % en bidons.

Gestion des effluents, sécurité et maintenance

Drainage conçu pour éviter stagnations ; plénum et drain communs avec drain séparé pour pompe de vidange.
Récupération et gestion des eaux ultra-pures selon besoins ; dispositifs de confinement et détection de fuites.
Documentation à fournir : empreinte FootPrint, pré-installation manual, fiches d’analyse des risques, SECS/GEM, spécifications piédestal, et autres annexes techniques.

Dimensions et contraintes d’ergonomie

Empreinte approximative : largeur totale ≈ 310 cm (zone pompage ≈ 230 cm ; zone filtration ≈ 80 cm) ; profondeur utile ≥ 75 cm (générale ≈ 85 cm) ; hauteur zone pompage ≈ 175 cm estimée.
Meuble compact sans perte d’ergonomie, accès/maintenance facilité (ouverture/fermeture aisées), extraction par le bas de certains tronçons.

Livraison et installation

Pièces sensibles livrées non montées pour chambres d’environnement ; emballages non contaminant (double film pour pièces destinées salle blanche).
Préconisation d’un phasage d’installation et de mise en service en plusieurs tiers (assemblage mécanique, raccordements et mise sous tension, qualification et réception).

Exigences complémentaires

Conception conforme aux exigences de propreté de salle blanche (ISO class) ; conformité CE et respect des prescriptions liées au bruit, incendie, produits chimiques et sécurité des opérations.

Tous les détails du marché

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