Jouvence d'un système de traitement thermique et d'oxydation de silicium

Commandes locales et supervision

• 4 interfaces locales tactiles (une par tube) et poste de supervision centralisé sur PC.
• Visualisation en temps réel des températures et flux, archivage horodaté des paramètres, exportation CSV/PDF, profils utilisateurs différenciés et journalisation des actions.

Fabrication, câblage et intégration matérielle

• Fabrication en atelier des racks électriques, câblage et plans à jour, intégration des API et des cartes I/O, compatibilité avec exigences de propreté salle blanche.
• Montage des racks sur bâtis existants, câblage des capteurs et actionneurs, raccordements électriques et réseau, vérifications et tests fonctionnels sur site.
• Intégration d'un thermocouple embarqué sur chariot pour mesure lors du déchargement dans les tubes.

Raccordements fluides et exhausts

• Séparation physique et hydraulique des circuits d'exhaust process et armoires techniques, identification des points de captation, fourniture et pose des conduits, vérifications de débits et essais d'étanchéité.

Nettoyage, révision et pièces critiques

• Raccordement fonctionnel du système de nettoyage automatique (ligne de bulleur et purge/assainissement) et validation opérationnelle.
• Révision et remplacement de pièces critiques listées (ex. élément Hydrox sur tube A1, débitmètres Horiba SEC-E40, câblage et capteurs), avec mesures initiales et contrôles post-intervention.

Essais, vérifications et mise en service

• Tests par tube : essais fonctionnels, cycles de test, validations des interfaces IHM et capteurs, vérifications de traçabilité et sécurités (alarme, reprise après coupure, sauvegarde).
• Mesures d'homogénéité de température aux paliers 300 °C, 700 °C et 1000 °C avant et après intervention; vérifications d'homogénéité des débits gaz.

Documentation et formation

• Fourniture de documentation technique à jour (plans de câblage, schémas, procédures opératoires), rapports d'essais et Pv d'installation.
• Formation des utilisateurs à l'exploitation et à la maintenance, remise des certificats et documents contractuels.