Jouvence du système de pulvérisation cathodique magnétron

Éléments matériels et fonctions à fournir ou remplacer

• Tour de commande : remise en conformité et intégration avec les nouveaux composants et l'automatisme.
• Cathodes : intégration du contrôle automatisé pour trois cathodes circulaires et gestion du co-sputtering RF/DC via coffret sous vide.
• Générateur RF : fourniture d'un générateur RF > 300 W, 13,56 MHz, connecteur RF Type N.
• Matchbox : intégration d'une nouvelle MATCHBOX dédiée aux trois cathodes.
• Générateurs DC : intégration et automatisation des deux générateurs DC MDX 500 existants.
• Canne de transfert linéaire : remplacement par un modèle neuf, longueur 400 mm, bride CF40, translation et ascenseur manuel.
• Cache hublot : fourniture/adaptation d'un cache manuel pour hublot d'observation.
• Porte-échantillon rotatif : platine Ø 4 pouces, rotation jusqu'à 20 tr/min, polarisation RF du porte-substrat pour nettoyage/etching, cache proche du porte-substrat, chauffage 0–800 °C avec régulation ±10 °C; calibration de température en option.

Gestion procédés et pompes

• Gestion des gaz : au moins deux contrôleurs MASS FLOW (débit configurable, possibilité d'ajouter d'autres MASS FLOW), lecture de la pression process via jauge adaptée, enregistrement débit/pression dans la supervision.
• Pompage secondaire chambre : pompe turbomoléculaire, bride inlet ISO-K 200, débit > 800 L/s (N2/Ar), orientation horizontale.
• Pompage secondaire sas : pompe turbomoléculaire, inlet ISO-K 100, débit > 250 L/s, orientation horizontale.
• Pompes primaires sèches : chambre : débit max 40 m3/h, vide limite 3.0e-02 torr ; sas : débit max 15 m3/h, vide limite 2.0e-02 torr.
• Ligne de pompage et vannes : maintenance/remplacement des vannes d'isolation, joints ; intégration des vannes dans l'automatisme.
• Lecture du vide et capteurs : deux Dual Bayard-Alpert, jauge Pirani (plages basses évoquées), capteurs d'atmosphère pour sas et chambre ; connexions directes à l'automate et affichage sur synoptique.
• Vannes de ventilation & circuits : réutilisation/ remplacement vannes Argon ; distribution pneumatique réutilisable avec remplacement tuyaux secs, régulateur SMC avec verrouillage et lecture de pression.
• Circuit de refroidissement : débitmètres BROOKS réutilisables/échangeables, contrôle et visualisation via supervision.

Automatisme, supervision et sécurité

• Système de contrôle : fourniture et intégration d'un nouvel automatisme et interface de supervision robustes (automate/ordinateur, écran, OS stable, mémoire, ports USB, Ethernet) sans dépendance au support d'un OS obsolète.
• Fonctionnalités de supervision : niveaux d'utilisateur, menus, gestion d'alarmes, archivage des données, synoptique graphique, modes de fonctionnement, enregistrement des débits/pressions et des états pompe/valves.
• Onduleur / alimentation de sécurité : onduleur et périphéries de sécurité pour assurer une autonomie d'environ 1/2 heure selon cahier des charges.
• Conformité CE : mise en conformité CE de la machine et de l'armoire électrique, protections et contacteurs ; fourniture des éléments nécessaires pour inspection et certification par organisme agréé.

Vérifications, essais, formation et documentation

• Tests et réception : réalisation et preuve des tests (vide, dépôts, uniformité de dépôt, température, nettoyage/plasma, étanchéité, fonctionnement automatisme) avec PV de réception ; période de vérification post-mise en service d'environ 8 semaines et possibilité de réfaction si non-conformité.
• Formation : formation du personnel utilisateur sur exploitation, maintenance et sécurité (contenu, durée et méthodes à préciser dans l'offre).
• Documentation fournie : manuel d'utilisation, schémas électriques/pneumatiques/fluides, configuration matériel, recettes et données expérimentales, formats papier et informatiques.
• Garantie et options : garantie pièces et main-d'œuvre initiale 12 mois ; option d'extension de garantie (PSE) proposée ; modalités SAV à spécifier.

Exigences complémentaires

• Intégration complète des nouveaux éléments électriques, pneumatiques et fluidiques au synoptique et à l'automatisme.
• Fourniture des interfaces physiques (connectiques RF, brides ISO/CF, alimentation chauffage, capteurs) conformes aux spécifications techniques énoncées.
• Remplacement ou adaptation des composants et fourniture de pièces consommables nécessaires à la mise en service.