Fourniture d'équipements scientifiques spécifiques pour laboratoires

Éléments mécaniques et procédé

• Partie source : au moins 2 sources d'évaporation par effet Joule avec alimentations et caches, microbalances à quartz pour contrôle d'épaisseur et débit.
• Porte-substrat tournant, crytallographie des distances cruset–substrat adaptées pour uniformité sur substrats ≥ 3 pouces (et conformité aux exigences pour substrats plus petits).
• Masques spécifiques pour dépôt de contacts métalliques ; options pour procédés d'effluvage (glow discharge) pour amélioration d'adhérence.

Groupe de pompage et instrumentation

• Groupe de pompage commandé automatiquement assurant vide final < 10^-6 mbar ; systèmes de jauges et mesures adaptés.
• Possibilité de thermostatage de l'enceinte pour limiter adsorption d'humidité ; sas, hublots et tôles de protection intégrés.

Installation, formation et maintenance

• Installation, mise en ordre de marche et vérifications par le fournisseur en présence du représentant technique ; réception provisoire et définitive après essais.
• Formation initiale sur site obligatoire, possibilité de formation approfondie en usine pour au moins 6 personnes.
• Maintenance durant période de garantie ; proposition de contrats et coûts annuels, modalités d'intervention et ressources en France.

Options

• Acceptation d'équipements d'occasion sous réserve de conformité technique et justificatifs ; options et consommables à fournir (crucibles, matériaux cibles, filtres, etc.).