Dispositif de pulvérisation cathodique et évaporation de carbone

Université de Paris
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Fiche synthétique du marchés public. Analyse détaillée et points essentiels du DCE.

Date limite
24 novembre 2025 à 11 h
Localisation
Paris (75)
Durée
12 mois, renouvelable 3 fois (durée maximale 4 ans)
Budget
Max: 70 000 €

Dispositif combiné pour préparation d'échantillons en MEB

Fonctions principales

  • Pulvérisation cathodique de métaux (sputtering).
  • Dépôt de carbone par évaporation.
  • Effluvage (glow discharge) des échantillons.
  • Possibilité de réaliser des dépôts séquentiels carbone puis métal sans rupture de vide.

Système de vide et chambre

  • Système de pompage sec (sans huile) avec pompe primaire et pompe turbomoléculaire; possibilité d'intégration sans emprise au sol.
  • Grande chambre sous vide à intérieur démontable pour un nettoyage aisé.
  • Sources de métaux inclinées pour assurer un enrobage uniforme.

Fonctionnalités mécaniques et manipulation d'échantillons

  • Platine support avec réglage manuel de la hauteur et de l'inclinaison, et rotation motorisée.
  • Système d'échange rapide des cibles (compatibilité multi-compositions : or/palladium, chrome, tungstène, etc.).
  • Interface et adaptabilité pour connexion à systèmes complémentaires (cryotransfert, cryofracture).

Contrôle et performances

  • Contrôle précis de l'épaisseur de dépôt avec balance à quartz.
  • Interface de contrôle intuitive avec capacité d'enregistrer au moins 10 programmes prédéfinis.
  • Conception permettant une manipulation minimale lors des opérations séquentielles sous vide.

Dimensions et installation

  • Conception adaptée pour installation sur paillasse de profondeur 75 cm et emprise maximale de 60 cm dans chaque dimension.
  • Livraison, installation et mise en service sur site inclus.

Fournitures et formation

  • Fourniture minimale incluse : 1 cible or/palladium, 1 cible chrome, 1 cible tungstène, 1 tresse carbone.
  • Formation initiale du personnel (minimum 3 personnes) sur site; possibilité d'une seconde session de formation sans surcoût.

Garantie et maintenance

  • Garantie minimale de 2 ans.
  • Obligation de détailler les conditions de maintenance préventive et corrective : localisation du service technique, effectifs, délais d'intervention, disponibilité des pièces et des consommables.

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