Fourniture d'une chambre de dépôt pour couches minces par évaporation sous vide

Le marché concerne la fourniture, livraison, installation, mise en service et formation à l’utilisation d'une chambre de dépôt dédiée à la réalisation de couches minces par évaporation sous vide. Les prestations incluent :

• Dossier de fabrication : Comprenant des plans à fournir selon les spécifications techniques, à remettre au CNRS dans un délai d'un mois après notification du marché.
• Baie de contrôle : Système informatique de supervision avec hardware et software fournis, ainsi que les fichiers CAO 3D de l’ensemble du système.
• Systèmes de sécurité : Comprenant une centrale d’eau refroidie et son système de distribution d’eau.
• Tests d’admission : Réalisés par le titulaire après installation du matériel.
• Formation : À l’utilisation de la machine pour 3-4 personnes.

Description technique de la Tranche Ferme

• Contraintes générales : Capacité de réaliser des multicouches métalliques et supraconductrices sur des substrats de Ø 2’’ à Ø 6’’.
• Caractéristiques techniques : Dimensions maximales, pression, système de pompage, manipulateur de substrat, sources d’évaporation, régulation et contrôle des sources, gestion des gaz, et système d’automatisation.

Description technique des tranches Optionnelles

• Sas auxiliaire (tranche optionnelle 1) : Introduction sous vide d’échantillons avec un système de porte-échantillons et un système de pompage autonome.
• Co-évaporation (tranche optionnelle 2) : Possibilité de co-évaporation avec deux canons à électrons régulés indépendamment.

Livraison, installation, mise en service et formation

• Délai d’exécution : 18 mois maximum après notification.
• Tests de mise en service : Comprenant un processus complet de fabrication d’un détecteur, avec rapport de test à valider par IJCLab.
• Formation : Procédures de manipulation des échantillons et d’exécution d’un process.