Acquisition d'un système d'alignement et d'insolation sans masque

Le marché concerne l'acquisition, l'installation et la mise en service d'un système d'alignement et d'insolation sans masque pour le Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N). Voici les détails des prestations techniques :

1. Description de l'Équipement à Fournir

• Caractéristiques Générales :

  • Écriture de motifs sur une surface de substrat jusqu'à 100 mm de côté sans déplacement manuel.
  • Acceptation de géométries variées d’échantillons (carrés de 5 pouces, substrats circulaires de 1 à 4 pouces, etc.).
  • Focalisation automatique pour des échantillons de hauteur variable jusqu'à 150µm.
  • Capacité d'écriture dans des résines photosensibles de 1µm à 150µm d'épaisseur.
  • Fabrication de dispositifs en niveaux de gris jusqu’à 128 niveaux.

• Performances Obligatoires :

  • Résolution d'écriture inférieure ou égale à 0,8 µm.
  • Vitesse d’écriture d’au moins 10 mm²/min pour une résolution inférieure ou égale à 1 µm.
  • Alignement de motifs avec une précision inférieure ou égale à 1 µm.
  • Durée de vie de la source lumineuse d’au moins 10 000 heures à 8W.

2. Modalités de Livraison, Réception, Installation et Mise en Service

• Livraison :

  • L’équipement doit être livré dans un délai de 9 mois après notification du marché, avec tous les frais d’expédition à la charge du titulaire.

• Installation :

  • Installation et mise en service à réaliser dans un délai de 10 mois après notification, avec un délai maximum d'un mois après livraison.
  • Vérification des locaux pour s'assurer de leur conformité aux exigences d'installation.

3. Formation

• Formation des utilisateurs sur l'utilisation de l'équipement, y compris la mise en œuvre de la technique et la réalisation de travaux pratiques.

4. Maintenance

• Maintenance préventive prévue avec une visite par an.