Acquisition d'un réacteur de traitement de surface par plasma

Université de Lorraine
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Date limite1 septembre 2025 à 14 h
LocalisationNancy (54)
Durée
Durée jusqu'à l'expiration de la garantie, minimum 2 ans
Budget
Non précisé

Détails des prestations techniques demandées

1. Spécifications techniques du réacteur

  • Contexte : Équipement d'un réacteur de traitement de surface assisté par plasma à source à couplage inductif (ICP).
  • Caractéristiques principales :
    • Chambre cylindrique en inox AISI 316L, doubles parois, refroidie par eau.
    • Dimensions : diamètre interne 600-650 mm, hauteur utile 400-450 mm.
    • Piquages pour gaz, pompe, et diagnostics plasma.

2. Porte-échantillons

  • Caractéristiques :
    • Mobile, chauffant jusqu'à 1000 °C, avec régulation automatique de la température.
    • Polarisation DC ou DC pulsé jusqu'à -1 kV.

3. Système de pompage et contrôle de pression

  • Comprend une pompe primaire et une pompe turbomoléculaire pour atteindre un vide inférieur à 10-6 mbar.
  • Système de débimétrie pour l'injection de gaz (Ar, N2, O2, H2, C3H8).

4. Installation et formation

  • Installation sur site et formation des utilisateurs d'une journée (7 heures).
  • Documentation fournie avec le manuel d'utilisation et les procédures de maintenance.

5. Prestation supplémentaire éventuelle obligatoire

  • Chiffrage pour un système de confinement magnétique du plasma pour limiter la pollution des parois.

6. Conditions de livraison

  • Livraison à l'intérieur des locaux, avec transport, protection des espaces traversés, et nettoyage des zones.
  • Emballage conforme aux normes pour assurer la protection du matériel.

7. Conditions d’exécution environnementales

  • Communication d'un bilan de gaz à effet de serre (BEGES) et plan de transition dans les délais impartis.

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PondérationCritère

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