Acquisition d'équipements de microscopie, d'imagerie ultrasonore et de capteurs FBG
Fiche synthétique du marchés public. Analyse détaillée et points essentiels du DCE.
Lot n°1 — Microscope électronique à balayage (MEB)
Équipement principal
- Station MEB avec colonne FEG (émission de champ) et plage de tension 20 V–30 kV; courant de faisceau 5 pA–20 nA; résolution minimale 0,9 nm à 15 kV et 1,7 nm à 1 kV; grandissement 12×–2 000 000×; dwell time ≈ 25 ns/pixel.
- Chambre sous vide de grande dimension (dimensions minimales 300 × 250 × 500 mm) et pompage différentiel visant chambres < 10^-7 mbar et colonnes < 10^-10 mbar.
- Jeu de détecteurs : SE Everhart–Thornley, détecteur SE InLens, détecteur ESB (BSE), détecteur de courant d’échantillon; caméras pour observation interne (ex. caméra CCD infra‑rouge).
- Chambre équipée d’environ 18 ports pour accessoires (FIB, GIS, SIMS, EBSD, etc.).
- Platine eucentrique 6 axes (X, Y, Z, tilt, rotation) avec courses importantes (ex. translations ≈ 100 mm), résolution des translations ≈ 100 nm et répétabilité ~3 µm; rotations 360° résolution 0,1°.
- Unité FIB optionnelle avec injecteur de gaz (GIS) multi‑cartouches, vitesses de dépôt spécifiées (ex. 5–100 nm/min) et cartouches pour gaz (ex. XeF2, dépôt platine/carbone).
- Refroidissement par circuit eau fermé.
Logiciel et intégration
- Fourniture d’un kit de développement (API/SDK en C/C++) donnant accès aux réglages de la colonne électronique, flux vidéo temps réel des détecteurs, réglage platine et réglage colonne ionique.
- Capacité d’intégration maître/esclave et échanges cycliques temps réel (exigence d’échanges toutes les 500 ms avec systèmes robotiques existants).
Prestations associées
- Pré‑installation technique, livraison, déballage, mise en service opérationnelle complète et documentation technique.
- Formation sur site (5 jours) et transfert de compétences opérationnelles.
- Garantie de l’équipement principal mentionnée à 2 ans dans le tableau du lot (modalités pièces, main d’œuvre et déplacements précisées par le candidat); possibilité de prestations supplémentaires (SAS d’introduction d’échantillons, contrat de maintenance additionnel jusqu’à 3 ans, colonne ionique FIB détaillée).
- Maintenance préventive et corrective, support technique (hotline), mises à jour logicielles pendant la durée de vie de l’instrument; modalités d’intervention différenciées par gravité (à préciser par le candidat).
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Critères d'évaluation
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