Acquisition d’un équipement de photolithographie double face compatible 6 pouces et ses accessoires

Institut polytechnique de Grenoble
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Date limite5 septembre 2025 à 10 h
LocalisationGrenoble (38)
Durée
Durée initiale jusqu'à la fin de la période de garantie, avec une tranche optionnelle de 36 mois
Budget
Min: 15 000 € - Estimation: 60 000 €

Prestations techniques demandées

  1. Objet de la consultation
    Le CIME Nanotech souhaite acquérir une machine de photolithographie – aligneur double face compatible 6 pouces pour enrichir son parc d’équipements. Cette machine doit permettre d’aligner et d’exposer aux UV des plaques de silicium de différents diamètres.

  2. Spécifications techniques attendues

    • Compatibilité : Exposition et alignement double face 6 pouces.
    • Alignement : Face avant pour plaques de silicium 4 pouces, 2 pouces, et morceaux de 10x10 mm² ; face arrière pour plaques de silicium 4 pouces et 2 pouces.
    • Porte-masque : 5 pouces pour masques 5x5 pouces.
    • Source UV : Lampe LED avec longueurs d’onde réglables (365nm et 405nm).
    • Modes d’exposition : Proximité, contact, vacuum.
    • Système de pilotage : Ordinateur avec logiciel pour le pilotage et lancement de recettes.
    • Précision d’alignement : Détails sur les courses minimum et maximum, distance de travail des objectifs, et uniformité d’exposition.
    • Installation : Sur table anti-vibration compatible salle blanche ISO5.

  1. Prestations supplémentaires éventuelles (PSE) obligatoires

    • PSE 1 : Matériel pour expositions avec alignements face avant et face arrière pour substrats de silicium 6 pouces.
    • PSE 2 : Porte-substrat compatible mode « contact » et mode « vacuum » pour échantillon de type lame de microscope (75 mm x 25 mm).

  2. Tranche optionnelle

    • Maintenance : Accord-cadre à bons de commande pour la maintenance de l'équipement et fourniture de pièces détachées.
    • Maintenance préventive : Contrat d’un an pour maintenir les performances de la machine.
    • Maintenance curative : Dispositions pour intervention en cas de panne, avec précisions sur le délai d’intervention.
    • Pièces détachées : Modalités de livraison, délai, et garantie.
    • Téléassistance : Support proposé avec modalités et délai de réponse.
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